Focused Ion Beam (FIB)

Stärken der Technik

• Präparation von Querschnitten kleiner Proben, sehr dünner Schichten oder von kleinen Defektstellen für nachfolgende Untersuchung mittels Rasterelektronenmikroskopie (REM / EDX).
• Präparation von Dünnschnitten (Lamellen) für die Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) geeignet.